半导体行业制造废水中的过滤应用_上海奕卿过滤科技
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半导体行业制造废水中的过滤应用
发布日期：2020-11-20 22:51
半导体生产废水排放量大，废水污染物种类多，成份复杂，通常都包括多种重金属废水和有机废水，处理难度较大。为了保证半导体生产废水的处理效果，须按照污染物的不同将废水分类收集，针对每一类废水的主要污染物的特点，分别进行处理，可达到理想的处理效果。同时，采用先进的废水回用处理技术，保证废水回用处理系统的稳定性和经济性 。
清洗工艺及废水来源
工艺
清洁源
容器
清洁效果
剥离光刻胶
氧等离子体
平板反应器
刻蚀胶
去聚合物
硫酸:水=6:1
溶液槽
除去有机物
去自然氧化层
氟化氢:水<1:50
溶液槽
产生无氧表面
旋转甩干
氮气
甩干机
无任残留物
RCA1#(碱性)
氢氧化铵:过氧化氢:水=1:1:1.5
溶液槽
除去表面颗粒
RCA2#(碱性)
氯化氢:过氧化氢:水=1：1：5
溶液槽
除去重金属粒子
DI清洗
去离子水
溶液槽
除去清洗溶剂
问题描述
1.产生废水量大；
2.废水成份复杂，含有各种过渡性质的金属如硅、锗等，同时含有较高含量的氟；
3.废水中含有难以处理的较高浓度的 COD。
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