关于多晶硅生产中尾气SiCl4的处理探析

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发布日期：2021-01-07 01:53

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近几年随着多晶硅生产工艺的不断改进，生产成本降低和环境保护已成为关注目标，因此含颗粒粉尘气体的净化在改良西门子法中日益重要。不论是改良西门子法还是硅烷法生产工艺中都需要过滤设备，用于收集硅粉、氯硅烷循环洗涤、循环水再利用等工序。结合众多项目生产经验，WEYSYS提出了自己的过滤工艺解决方案。
多晶硅生产中所遇见的污染物及杂质颗粒：
1.未完全反应的硅粉颗粒；
2.循环液带入的管道中的杂质；
3.进料带入的固体粉尘与杂质；
4.合成反应生成的固体杂质；
这些颗粒杂质污染物是影响生产稳定、换热效率的主要原因。WEYSYS高效的过滤与分离设备不仅保护了生产设备的工艺安全，同时也提升了产品质量与产量。
尾气过滤应用在多晶硅生产的各个工艺段,对多晶硅的生产起到重要作用,尤其目前行业低位运行期间,对多晶硅产品降低成本至关重要：
a.废气废液工位的烟气过滤；
b.还原炉尾气分离；
c.氢化炉尾气分离；
d.硅粉过滤等。

1、还原尾气分离
在SiCl₄氢化气和SiHCl₃还原气通过干法分离后，H₂和HCl得以回收利用，在H₂回用前需过滤气体中含有的未反应硅粉和生成的石墨粉，来保证氢气纯净，使氢化反应和还原反应更稳定、高效。

问题：	要求：	解决：
氢气为高危气体	过滤器密封性能良好	采用自动反吹系统，无须打开滤器，减少内件更换频次，避免泄露可能
石墨粉/硅粉颗粒粒径微小，硬度高。	过滤精度要求高，防止内件穿透。	采用独特的烧结金属毡内件，过滤孔径稳定，保证过滤性能,过滤精度可达0.1um-0.5um
尾气温度高	抗温要求高。避免降温处理带来的一系列问题。	WEYSYS采用高温直接处理工艺，避免降温处理带来管道腐蚀，能耗浪费严重的问题。

2、废气、废液焚烧处理
在多晶硅生产工艺中，废气废液处理一直是困扰企业的难题之一。传统的喷淋处理工艺，处理成本高，浪费严重，环保问题严峻。
解决方案：
WEYSYS采用干法分离技术，将废气废液在炉内燃烧，生成SiO₂粉末，通过分离收集SiO₂粉末产生极大的经济效益。同时解决环保达标排放问题。
工艺优势：
1、废气废液集中处理，工艺流程短，操作简单；
2、回收的SiO₂粉末产生极大的经济效益；
3、气体经燃烧后，符合环保要求，可直接放空处理，经济环保。
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技术支持：
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